電子・イオンビームハンドブック

「電子・イオンビームハンドブック」
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#本 #電気・機械／電子通信

説明
ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。

中身美品、未使用

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商品の情報
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